短波紅外相機(jī)在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

　　半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、醫(yī)療儀器等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的?，F(xiàn)如今大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián)。常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上有影響力的一種。
 

　　純凈的硅錠在室溫下是透明的，而摻雜型的硅錠在室溫下是不透明的，并且隨著溫度的升高，不透明度也隨之升高；短波紅外相機(jī)的感光范圍是900-1700nm，而1200nm以上的光可以輕易的穿透摻雜型硅錠，這使得利用短波紅外在半導(dǎo)體材料的品質(zhì)檢測(cè)、硅錠和晶片成品的缺陷或裂紋檢測(cè)以及晶元切割過程中的激光精確對(duì)準(zhǔn)等方向上大有所為。
 

　　西安立鼎光電研發(fā)的短波紅外相機(jī)在半導(dǎo)體檢測(cè)中具有優(yōu)異的性能，以下是用LD-SW6401715-C相機(jī)，配合顯微鏡頭在合適的光源下對(duì)硅晶圓進(jìn)行缺陷檢測(cè)，檢測(cè)效果如下：